百級：在潔凈車間1立方米內(nèi)小于0.1-0.3um塵埃粒徑的塵埃粒子數(shù)少于3500個，大于5.0um粒徑的塵埃粒子0個，微生物浮游菌每立方米少于5個，斷面風(fēng)速每平方每秒控制在0.25~0.45之間，換風(fēng)的循環(huán)次數(shù)在250次以上；另外就是要考慮FFU平面布置密集度；氣流組織是垂直向下送風(fēng)，下回的方式回風(fēng)，必須做高架地板 防靜電要求。

千級：在潔凈車間1立方米內(nèi)小于0.1-0.3um塵埃粒徑的塵埃粒子數(shù)少于35000個，換風(fēng)次數(shù)要求50~60次，動態(tài)要求在65次以上；

萬級：在潔凈車間1立方米內(nèi)小于0.5um塵埃粒徑的塵埃粒子數(shù)少于350000個，換風(fēng)次數(shù)要求15~25次，動態(tài)要求在30次以上；

十萬級：在潔凈車間1立方米內(nèi)小于0.5um塵埃粒徑的塵埃粒子數(shù)少于3500000個，換風(fēng)次數(shù)要求15~20次；

三十萬級：在潔凈車間1立方米內(nèi)小于0.5um塵埃粒徑的塵埃粒子數(shù)少于35000000個，換風(fēng)次數(shù)要求15次；

三十萬級：在潔凈車間1立方米內(nèi)小于0.5um塵埃粒徑的塵埃粒子數(shù)少于35000000個，換風(fēng)次數(shù)要求15次；